적외선 화상센서와 응용

인체 검지를 응용한 각종 상품 분야를 비롯하여 시큐리티, 교통, 방재, 엘리베이터 등의 빌딩 시스템 정보기기, FA 등의 분야에서도 널리 응용될 것으로 생각되는 초전박막소자를 사용한 적외선 화상 센서 시스템의 구성과 특성, 그리고 새로운 분야의 응용 전개에 대하여 개발한 마쓰시다 전자공업(주)의 자료를 토대로 소개한다.

자료제공: 동역메카트로닉스연구소 기술정보팀

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■ 서론

마쓰시다전자 공업(주)에서는 티탄산연계 초전박막(PbTiO3) 소자를 검출부에 탑재한 고성능, 저가격형의 적외선 화상 센서 시스템을 개발했다. 본 센서 시스템은 소형, 고감도, 고속 응답, 상온 동작이라는 초전박막의 특징을 살려, 인체 등의 열 물체의 위치검출, 인체검출, 형상인식, 비접촉 온도분포를 고정밀도로 계측할 수 있는데, 소형, 경량, 실온 동작, 저가격이라는 특징을 가지고 있다. 이미 초전박막을 사용한 적외선 화상 센서 시스템은 룸에어컨 등에도 탑재되고 있는데, 더욱 용도를 넓힐 목적으로, 다음 사항을 연구함으로써 신뢰성을 포함한 시스템의 고성능화와 대폭적인 저가격화를 실현했다.

적외선 화상처리는 열 분포에 의한 특징 검출을 할 수 있기 때문에 가시화상처리에 비교하면 간단한 시스템으로 인체, 열원, 실내 형상 등의 정보를 정확하게 얻을 수 있다고 하는 특징이 있어, 금후 그 발전이 기대되고 있다. 본 센서 시스템 및 초전박막소자는 에어컨 등의 공기조절 이외에도 서비스, 방재, 세큐리티, 엘리베이터, 교통 등의 여러 분야에 응용되고 있다.

적외선 센서는 양자형과 열형으로 대별된다. 양자형은 광전도나 광기전력 효과 등을 이용하는 것으로, 감도·응답성이 우수하고, 열 화상검출이 가능하지만, 소자부의 냉각이 필요하며, 대형으로 값이 비싸다. 열형은 적외선을 열 에너지로 변환하여 검출하는 것으로, 초전체나 서모파일 등이 보급되고 있다. 이 열형은 냉각이 필요없고 장파장대에도 감도가 있지만, 화상검출 용도로는 적외선 검출소자로서 감도, 응답성 등의 성능이 부족했다.

마쓰시다전자공업(주)에서는 상기의 기술 과제를 해결하기 위해, 세계에서 가장 먼저 초전재료의 박막화에 성공함과 동시에, 그 성능을 이끌어내는 소자 구성 프로세스를 개발함으로써 리니어 어레이형의 초전박막소자를 양산화했다. 이 초전박막소자는 이미 룸에어컨(HG 시리즈)에 탑재하여, 실내의 벽, 마루의 온도분포나 인체정보(위치, 움직임, 인원수)를 얻어, 고품위의 쾌적성과 에너지 절약을 실현했다. 그리고 본 센서 시스템은 적외선 화상처리와 더불어 열분포의 특징 검출(인체, 열원 등)이 용이하며, 소형, 경량, 저가격으로 손쉽게 사용할 수 있는 "온도의 눈"으로 여러 분야에서 주목받고 있다. 본고에서는 박막 초전형 적외선 센서 시스템의 구성, 본 시스템의 특성, 새로운 분야의 응용 전개에 대하여 언급한다.

■ 센서 시스템의 구성

□ 기본 구성

이번에 개발한 박막 초전형 적외선 화상센서 시스템은 그림 1에 나타낸 바와 같이, 초전박막소자, 적외선 광학계, 수평주사 메커니즘, 신호처리 및 제어계로 구성된다. 그림 2에 센서 모듈의 단면도를 나타낸다.

센서 시스템의 적외선 검출부는 성능을 향상시킨 티탄산연(PbTiO3)계 초전 박막을 사용하고 있다. 수직방향에 일차원으로 나열된 8엘러먼트(그림 3)의 초전박막소자, 적외 광학계 및 모터 초퍼는 적외선 검출부와 일체화되어 있으며, stepping motor에 의해 수평주사되어 수직 8화소(70도)×수평 64화소(150도)의 열 화상 검출을 가능하게 하고 있다. 그리고, 본 센서 시스템은 실내의 높은 곳에 설치하며, 센서 모듈을 원점으로 하여 0.5∼7m까지의 거리에 대해 광시야각(수직 70도, 수평 150도)를 가지고 있다. 더구나, 인체 해상도의 거리 의존성을 경감하기 위해, 아주 가까운 거리에서는 큰 엘러먼트, 먼 거리에서는 작은 엘러먼트에 결상되도록 광학 설계되어 있다.

□ 초전박막 소자

초전박막소자의 구조(단면도)를 그림 4에 나타낸다. 초전박막은 임피던스 변환회로 소자인 J-FET나 고저항 등과 더불어, 적외선 필터를 창으로 하는 패키지에 봉입된다.

● 초전박막의 형성

개발한 초전박막 재료는 RF magnetron spattering법에 의해 형성된다. MgO 기판상에 높은 초전 특성을 나타내는 c축 배향 PbTiO3와 La를 첨가한 Pb1-xLaxTi1-x/4O3(PLT) 박막을 작제할 수 있다는 것을 알고, 이미 PLT 박막의 양산 장치를 개발한 바 있다. 이들 박막은 높은 성능지수를 나타낼 뿐만 아니라, spatter 성막시에 분극이 단일방향으로 나열되어(자연분극), 분극처리가 필요없다고 하는 특징이 있다.

PLT 박막을 작제할 때, 양호한 결정성을 얻기 위해서는 600℃ 정도의 기판 온도가 필요하지만, 이 온도에서는 Pb의 재증발에 의해 막의 조성이 벗어나 버리므로 타겟으로 Pb 과잉의 소결체를 사용하고, 또한 spattering 장치에는 기판의 균열성과 처리량을 향상시키는 연구를 했다. 이에 따라 PLT 막두께와 막질의 균일성이 훨씬 향상되었다.

그림 5에 PLT 박막의 조성, 비유전율 εr, 초전계수 γ, γ/εr의 기판 온도 의존성을 나타낸다. 기판 온도 580∼600℃의 범위에서, γ는 최대, εr은 최소로 되고, 전압감도에 대응하는 γ/εr은 최대값을 나타낸다.

더구나, erosion 형성에 의한 타겟의 경시변화로 인해 막 내부의 Pb가 감소하기 때문에 플라즈마 발광 분광분석의 정밀도 향상을 도모하고, 스패터 방전중의 원소(Pb, Ti)의 발광강도를 관측하여, 성막 조건을 적정한 범위로 제어함으로써 막 조성의 안정화를 가능하게 했다. 이에 따라 균일한 성능지수를 나타내는 PLT 박막의 제조율이 향상됨과 동시에 타겟 사용 시간도 이전의 2배 이상으로 연장되었다.

또한, MgO 기판의 결정성, 표면 거칠기가 PLT 박막의 초전 특성에 주는 영향을 조사한 결과, 결정축이 다소 어긋나거나 조잡한 연마 레벨에서도 초전 특성에 큰 영향을 주지 않는다는 것을 알았으며, 이에 따라 저등급의 MgO 기판을 사용할 수 있게 되어 기판의 가격을 대폭 낮출 수 있었다.

● 소자화 프로세스

감도와 응답성을 향상시키기 위해서는 기판에 대한 열 확산을 억제하여 소자 자체의 열용량을 작게 할 필요가 있다. 이 때문에 MgO 기판을 에칭에 의해 제거하고, 그림 4에 나타낸 바와 같이 polyimide 수지막으로만 PLT 박막을 유지하며, 허공에 뜨게 하는 미세한 3차원 구조로 했다. 이 구조에 의해, PLT 박막의 성능을 유효하게 이끌어내어, 초전박막소자로서의 고감도화, 고속 응답성을 실현했다. 사진 1에 초전박막소자의 SEM 사진을 나타낸다. 소자화의 대략적인 프로세스는 다음과 같다.

  1. PLT 성막후, 1층째 폴리이미드를 도포하고, 포토 리소그래피에 의해 패턴을 형성한다.
  2. NiCr 전극을 형성하고, 다시 2층째 폴리이미드를 도포한다.
  3. MgO 기판을 분할하여 세라믹 기판에 전사한다.
  4. 인산 에칭에 의해 MgO 제거후, 수광 전극을 성막한다.
  5. 도전 페이스트를 도포한다.
  6. 고저항, FET를 실장한 회로 기판을 stem에 납땜한다.
  7. 회로기판에 칩을 부착한다.
  8. 반사 방지막을 코팅한 Si 창이 있는 캡을 용접하고, 밀폐한다.

□ 적외선 광학계와 마이크로모터 초퍼

● 적외선 광학계

본 센서 시스템의 렌즈 초재(硝材)로는 9μm 부근의 파장 흡수가 적은 단결정 제조용 원료인 Si 다결정을 채용했다. 그러나, Si의 굴절률은 3.42로 크기 때문에 표면 반사율도 크며, Si 렌즈 양면에 반사 방지막(ZnS)을 증착함으로써 10μm 부근 파장의 적외 투과 특성을 개선했다. 또한, 본 센서 시스템의 광학계는 70도의 광시야각을 가지며, 코사인 4제곱법칙에 의해 주변부에서는 중심부에 대해 1/2 이하의 상면(像面) 조도로 된다. 상면의 조도를 균일하게 하기 위해, 다음 사항을 고려하여 광학 설계를 했다.

본 센서 시스템에 사용한 광학계의 대략적인 구성도를 그림 6에 나타낸다. 그리고, 본 광학계의 제원과 상면 조도 특성을 각각 표 1과 그림 7에 나타낸다. 본 광학 설계에 기인하여 연마 가공된 렌즈는 그림 8에 나타낸 적외 광학 성능 평가장치로 평가했다. 본 장치는 흑체로(黑體爐)의 전방에 온조된 수냉식의 차트를 피검 렌즈로 공중상(空中像)을 형성하고, 그것을 확대 릴레이 렌즈로 2차원 적외 이미지 센서상에 투영하는 광학계부와 이미지 센서로부터 얻어진 신호를 처리하여 MTF, 왜곡, 주변 광량비 등을 구하는 화상처리부로 구성되어 있다.

본 장치를 개발함에 따라, 종래의 슬릿 스캔 적외 MTF 장치보다 2자리 이상의 고속 측정, 평가를 할 수 있게 되었다. 이러한 적외 광학계의 최적 설계 수법의 확립과 광학 성능 평가장치의 개발에 의해, 공간 해상도가 우수한 실리콘 렌즈를 실현했다.

● 마이크로모터 초퍼

초전형 센서는 입사 적외선의 변화량에 따라 전기신호를 발생한다고 하는 특징을 가지고 있다. 따라서 초전형 센서를 사용하여 온도를 측정하는 경우에는 입사 적외선을 안정하게 초핑할 필요가 있다. 본 센서 시스템에서는 초핑 기능을 갖는 플랫형 brushless motor(이하, 모터 초퍼)를 새로이 개발했다.

그림 9에 모터 초퍼의 구조도를 나타낸다. 입사 적외선의 초핑은 회전자(rotor)에 부설된 원판을 32Hz의 고속회전 구동함으로써 이루어진다. 이 원판은 반지름이 다른 2개의 반원으로 구성되고, 개폐의 duty는 50:50이며, 초전박막의 성능을 최대한으로 이끌어낸다. 그리고 베이스판에 렌즈의 조리개를 설치하여 적외선 광학계와의 일체화를 도모함으로써 moter chopper와 본 센서 모듈의 소형화를 실현했다. 더구나, 회전자와 마그넷, 플렉시블 기판상의 패턴에 의한 전주적분형 주파수 발진기 방식으로 회전 검출하는 센서리스 3상전파 구동에 의해, wow & flutter, jitter를 포함한 회전 정밀도 1% 이하를 달성했다.

본 모터 초퍼의 장수명화를 실현하기 위해서는 축받이의 구성이 키 포인트가 된다. thrust 축받이는 박형 저마모 습동재를 사용한 주축 수납 방식을 채용하여 주축 수납부의 드라스트 하중을 줄이기 위해, 드라스트 자기 흡인력이나 회전자의 경량화 등에 대해 최적 설계를 했다.

한편, 방사상 축받이는 소결 함유 금속으로 구성되며, 금속부를 밀폐함으로써 축받이의 윤활유를 유지시킴과 동시에, 순환시키는 구조로 했다. 또한, 모터 초퍼의 발열은 축받이부의 온도상승을 초래, 수명에 영향을 줌과 동시에 시스템의 온도검출 확도를 악화시킨다. 이 때문에 온도상승의 억제에 permalloy를 고정자(stator)의 yoke에 사용하여 철손에 의한 발열을 억제하거나, 최적 세선 권선 설계로 철손실에 의한 발열을 억제했다. 그 결과 모터 초퍼 자체의 온도 상승은 연속 운전에서 2℃ 이하로 억제할 수 있어, 10,000 시간을 넘는 장수명화를 실현했다.

□ 신호처리

초전박막소자는 모터 초퍼에 의해 변화하는 입사 적외선에 대응한 전기신호 출력을 발생한다. 이들 전기신호 출력은 대상 물체와 초퍼의 온도차에 거의 비례하지만, 미소신호이므로 2단 구성의 대역 증폭기를 사용하고 있다. 그리고 시스템으로서의 S/N을 향상시키기 위해, 전단의 대역 증폭기를 초전박막소자의 근방에 배치하고 있다. 2단 구성의 대역 증폭기는 주파수 특성이나 대역 증폭기의 응답성 등에 대하여 최적화를 꾀했다.

종래, 대역 증폭된 초전박막소자의 8엘러먼트의 전기신호 출력은 제어용 마이크로컴퓨터의 8포트 A/D에 의해 동시 샘플링되고, 그 파고값과 위상차에 의해 온도 변환처리가 이루어지고 있었지만, 시스템의 간소화나 부품 개수를 삭감하기 위해 신호처리 IC를 개발했다. 그림 10에 그 블록도를 나타낸다.

본 신호처리 IC는 후단의 대역 증폭기를 구성하기 위한 OP 앰프를 내장함과 동시에, 초전박막소자의 8엘러먼트 전기신호 출력의 극성과 파고값을 검출하는 피크 홀드 기능을 갖는다. 피크 홀드된 각 화소의 전기신호는 analog multiplexer의 전환에 의해 순차 IC의 시리얼 출력으로 제어용 마이크로컴퓨터 1포트의 A/D에 입력된다. 초전박막소자의 전기신호의 피크 홀드로부터 제어용 마이크로컴퓨터의 A/D에의 출력까지 일련의 동작은 1/32초마다 모터 초퍼에 동기하여 이루어진다. 더구나, 본 신호처리 IC는 기준 온도신호, 감도 보정신호, 온도 오차신호 등의 정보를 시리얼 출력하는 동작 모드도 가지고 있다.

□ 센서 시스템 제어계

본 센서 시스템 제어계는 그림 1에 나타낸 바와 같이 센서 시스템 제어용 마이크로컴퓨터를 중심으로 구성되며,

등의 기능을 갖는다. 초전박막소자는 그림 2에 나타낸 바와 같이 수평 회전축으로부터 40도 경사로 배치됨에 따라, 각 화소가 대응하는 위치정보를 본 센서 모듈을 원점으로 하는 극좌표계로 변환한다. 제어용 마이크로컴퓨터의 신호에 의해, 모터 초퍼는 32Hz 회전하며, 열 화상의 검출을 개시한다. 그리고 모터 초퍼의 회전에 동기하여 제어용 마이크로컴퓨터는 적외선 검출부를 수평 주사함과 동시에, 신호처리 IC에 의해 수직 8화소×수평 64화소분의 초전박막소자의 전기신호(피크값, 극성)를 약 2초간에 취득한다. 각 화소의 전기신호 출력은 기준온도나 주변 광량비 등의 보정처리, 온도변환 처리되고, 기준 온도와의 가산에 의해 절대온도로 되어 열 화상이 생성된다. 더구나, 열 화상으로부터 인체 등을 추출하는 화상처리 기능도 갖는다. 사진 2는 본 초전박막소자를 사용하여 얻은 인체 흉상에 대한 열 화상의 일례이다. 수직 8화소×수평 64화소 열 화상에 spline 보간을 실시함으로써 2배의 해상도를 얻고 있다.

□ 화상처리

● 평활화 미분을 이용한 배경 온도 산출

일반적인 화상처리에서는 프레임간의 차분화상을 이용하거나, 배경을 축적하여 변화가 생긴 영역만을 잘라내는 등 다양한 수법을 사용하여 인체 등의 특정한 영역을 추출한다. 그러나, 본 센서 시스템에서는 1프레임의 취득에 약 2초의 시간을 요하기 때문에 정지 열화상에서 인체 등이 차지하는 화소의 영역과 배경의 화소 영역을 분리 분할하는 수법을 취했다.

통상, 인체의 온도는 실온보다 충분히 높기 때문에 어떤 일정온도(절취 온도)보다 높은 화소 영역을 인체의 화소영역에서 추출한다. 그러나, 일반 가옥의 실내에서는 계절, 시각, 일사의 유무 등에 따라, 벽이나 마루의 온도는 크게 변화하기 때문에 절취 온도를 고정값으로 정하면 환경에 따라서는 인체 추출을 할 수 없게 된다. 또한, 열 화상에 인체가 찍혀 있는 경우, 인체 화소 영역의 온도는 주위보다 높아지므로 열 화상에 凸부분이 생긴다. 이 凸부분을 제외한 영역을 배경 화소 영역이라고 하면 정확한 벽이나 상 등의 배경 온도의 검출이 가능해진다. 본 센서 시스템에서는 열 화상의 凸부분의 추출에 이동평균법에 근거한 평활화 미분을 이용했다.

이 평활화 미분에 의해 생성된 2차미분 열화상에 있어서 화소값이 0 이상의 영역을 배경 화소 영역으로 하고, 그 영역의 화소 평균온도를 배경 온도로 한다. 배경 온도를 토대로, 절취 온도가 결정되고, 환경에 적응한 인체 화소 영역이 추출된다.

● 노치 검색법

절취 온도에 의한 인체 화소 영역의 추출만으로는 사람이 확실히 위치한 경우, 열 화상상에서는 하나의 큰 영역으로 절취되어, 인원수를 오인식할 가능성이 있다. 이 오인식의 확률을 저감하기 위해, 하나의 큰 영역을 복수의 화소 영역으로 분할하는 처리를 부가했다. 일반적으로, 화상상의 극대점(피크) 또는 극소점(골: notch)에 착목하여, 영역을 분할하는 수법 등이 고려되고 있으며, 본 센서 시스템에서는 골에 기인하여 영역을 분할하는 방법(노치 검색법)을 채용했다.

8화소×64화소의 열 화상으로부터 극소점을 검출하기 위해, 세로방향, 가로방향, 기울기 방향에 대하여 독립적으로 미분처리를 하며, 미분값의 부호가 마이너스에서 플러스로 변화하는 점을 각 방향의 극소점으로 한다. 각 방향에서 검출된 극소점을 서로 합성함으로써 열 화상상에 "골"을 생성하며, 이 골에 근거하여 절취된 인체의 화소 영역을 분할한다. 그러나, 이상의 방법으로 구한 골은 반드시 기하학적으로 연속하고 있다고는 단정할 수 없으므로 다음의 규칙에 따라 골을 연결한다.

이 규칙에 따라 골을 연결한 다음, 절취된 인체 화소 영역내를 복수의 화소 영역으로 분할할 수 있는 골이 존재하는 경우에는 새로운 인체 화소 영역이 생성된다. 그림 11은 본 센서 시스템에 의해 실제로 검출된 열화상의 3차원 표시이고, 그림 12의 회색 영역은 배경 온도에 기인하여 절취된 화소 영역을 표시하며, 그림 13은 노치 검색법에 의해 화소 영역을 분할한 결과를 나타낸다.

● 뉴로 화상처리

평활화 미분이나 노치 검색법을 이용하여, 추출된 인체 화소 영역은 크기, 움직임, 온도, 벽 위치에의 영사 등의 조건에 더욱 부합되어 최종적으로 인체로 인식된다. 본 센서 시스템에서는 입력층 8개, 중간층 2층의 각 10개, 출력층 1개의 계층형 네트워크에 의해, 인체 위치를 약 ±50cm 이내의 정밀도로 추정할 수 있다. 본 센서 시스템의 화상처리 전체의 흐름을 그림 14에 나타낸다.

■ 센서 시스템의 특성

본 박막 초전형 적외선 화상 센서 시스템은 옥내에서의 사용을 전제로 개발되었다. 그 사양을 표 2에 나타낸다. 초전박막소자에 대한 다양한 연구와 모터 초퍼, 신호처리 IC 등의 신 부품의 개발에 의해, 에어컨에 탑재된 시점에서 약 30%의 대폭적인 가격 삭감을 실현함과 동시에, 신뢰성에 관해도 연속동작 10,000 시간을 넘는 장수명이라는 것이 확인되었다.

■ 신규 분야 전개

박막 초전형 적외선 화상 센서 시스템(사진 3)은 고속 응답으로 비접촉의 온도분포 측정이 가능하여, 서비스, 방재, 세큐리티, 엘리베이터, 교통 등의 업계에서 강력한 요구가 있다. 여기서는 신규 분야의 전개로 개발 추진되고 있는 일부의 사례에 대하여 소개한다.

□ TV 시청률 조사

시청률 조사는 현재의 세대별 조사에 대해 차세대로 개인별 조사의 도입이 검토되고 있다. 개인 시청률 조사의 방식으로, 리모컨을 사용한 시청자 신고 방식이 유력하지만, 시청자 신고 데이터의 신뢰성이 문제가 된다. 본 센서 시스템의 검출 인원수와 신고 인원수를 대조함에 따라, 신고 데이터의 신뢰성은 비약적으로 향상된다. 본 센서 시스템은 평활화 미분이나 노치 검색법 등 앞서 언급한 화상처리 기술을 구사하여, TV 시청자의 정확한 인원수 검출이 가능하다. 현재 검토하고 있는 개인 시청률 시스템을 그림 15에 나타낸다.

□ 화재 검지

방재 업계에서는 화재 검지를 목적으로 각종 적외선 센서가 사용되고 있지만, 발화 지점 위치를 검출할 수 있는 적외선 센서가 되면 냉각이 필요한 양자형 적외선 검출장치로 한정되고 만다. 게다가, 이들 적외선 검출 장치는 매우 고가이기 때문에 저가격으로 화재 검지부터 발화 지점 위치의 검출까지 가능한 적외선 센서 시스템이 요망되고 있다.

본 센서 시스템의 초전박막소자는 고감도이며, 근적외선∼원적외선까지의 넓은 파장 영역에 대해 평탄한 감도 특성을 가지기 때문에, 불꽃 등의 고온 물체의 검출도 가능하다. 초전박막소자를 원점으로 한 극좌표계에서 발화 지점 위치를 용이하게 산출할 수 있고, 게다가 냉각이 필요없다. 불꽃의 검출은 CO2의 방사(파장 4.3μm)를 검출함으로써 이루어지는데, 현재 광학계의 파장 특성을 선택하여, 화재검지 시스템의 개발을 추진하고 있다.

□ 통과 인원수 카운터

인원수 카운트 시스템은 백화점 등의 출입구에 설치하여 일별, 시간별 출입 인원수를 집계하여 마케팅 정보로 이용하고 있다. 현재의 통과 인원수 카운트 시스템에는 광전관 방식, CCD 카메라 방식, 세라믹 타입의 초전소자를 다수 나열하는 방식 등이 있다.

리니어 어레이형의 초전박막소자와 초퍼의 조합에 의해 개발의 시스템은 보행자를 흐름 화상으로 검출하여, 인체의 인식, 인원수 검출, 보행 속도 등의 정보를 얻는다. 그림 16과 같은 배광 특성을 갖는 2대의 센서를 사용함으로써 정확한 통과 인원수와 그 방향을 검출할 수 있다.

□ 엘리베이터 도어 센서

엘리베이터에서는 내부의 도어를 수동 개폐 가능으로 하여, 사람이 끼어들어 가는 것을 방지함과 동시에 광센서, 초음파 센서 등을 사용하여 인체를 검출하고 내외 도어를 개폐를 하고 있지만, 승강시에 보다 유연한 도어 개폐를 하기 위해, 시야각이나 응답성이 우수한 인체검지 센서가 요망되고 있다.

개발한 리니어 어레이형의 초전박막소자를 사용한 도어 센서는 사각(死角)이 없고, 초퍼가 불필요하며 인체의 검출 응답성(15ms 이내)이 우수하여, 엘리베이터의 도어 개폐에 수반하는 안전성을 더욱 향상시키는 센서로 기대되고 있다.

■ 맺음말

박막 초전형 적외선 화상 센서 시스템의 더욱 고성능화하고, 코스트다운을 하기 위한 연구가 진행되고 있다. 본 센서 시스템을 베이스로, 현재 여러 유저의 협력하에 각종 상품 분야를 비롯하여 빌딩 시스템 정보기기, FA 등의 분야에 대해서도 널리 응용될 것으로 생각된다. 금후는 박막초전재료의 성능 향상, 다화소화, 2차원화, 고도의 화상처리 기술 적용으로 더욱 기능이 향상되어 man-machine interface, 화상처리 분야에 응용될 것이다. end