NEWS 1999³â 4¿ù

¼±Æø 0.1¥ìm ÀÌÇÏ ÆÐÅÏ Çü¼ºÀÌ °¡´ÉÇÑ
»õ·Î¿î ¹Ì¼¼³ë±¤±â¼ú IDEAL °³¹ß


ÀϺ» ij³íÀÌ ÇöÀç ÁÖ·ù¸¦ ÀÌ·ç°í ÀÖ´Â ºÒÈ­Å©¸³Åæ(KrF) ¿¢½Ã¸Ó ·¹ÀÌÀú¸¦ ±×´ë·Î »ç¿ëÇϸ鼭µµ ¼±Æø 0.1¥ìm ÀÌÇÏ ¹ÝµµÃ¼È¸·Î ¹è¼± ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÏ´Â »õ·Î¿î ¹Ì¼¼ ³ë±¤±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù.

"À̳뺣ÀÌƼºê ´õºí ÀͽºÆ÷Àú ¹ÙÀÌ ¾îµå¹ê½ºÆ® ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(IDEAL)·Î ¸í¸íµÈ ÀÌ ±â¼úÀº ¹ÝµµÃ¼È¸·ÎÀÇ ¹è¼± Çػ󵵸¦ ±âÁ¸ÀÇ ¾à 2¹è·Î ³ôÀÌ´Â ±¤Çг뱤±â¼ú·Î, À̸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¸é ±âÁ¸ ½ºÅ×Æ۷εµ Â÷¼¼´ëÇüÀÌ Ãß±¸ÇÏ´Â ¼öÁØÀÇ °íÇػ󵵸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.

ij³íÀº À̹ø¿¡ ȸ·Î¿øÆÇ(·¹Æ¼Å¬)À» ±³È¯Çϸ鼭 µÎ ¹ø ±Á´Â ÀÌÁß ³ë±¤±â¼úÀ» µ¶ÀÚÀûÀ¸·Î °³·®ÇØ ½Ç¿ëÈ­¿¡ ¼º°øÇß´Ù.

ÇöÀç ÀϹÝÀûÀ¸·Î º¸±ÞµÅ ÀÖ´Â KrF ½ºÅ×ÆÛÀÇ °¡°ÝÀº 4¾ï~5¾ï¿£À¸·Î À̹ø ¿©¸§ºÎÅÍ º»°Ý ÃâÇÏ°¡ ½ÃÀ۵Ǵ ÃÖ÷´Ü ÀåÄ¡µµ 8¾ï5õ¸¸¿£ Á¤µµÀÇ °¡°Ý´ë¸¦ Çü¼ºÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.

¿©±â¿¡ IDEAL ±â¼úÀ» KrF ½ºÅ×ÆÛ¿¡ äÅÃÇϴµ¥ µå´Â ºñ¿ë 1õ~2õ¸¸¿£À» ÇÕÄ¡¸é ÃÖ÷´Ü ±âÁ¾ÀÇ °æ¿ì¿¡µµ ÇÕ°è 9¾ï¿£ ¹Ì¸¸ÀÇ ºñ¿ëÀ¸·Î ArF ½ºÅ×ÆÛ ¼öÁØÀÇ ¹Ì¼¼°¡°ø ¼º´ÉÀ» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ¿¡ ¹ÝÇØ Â÷¼¼´ëÇü ArF ½ºÅ×ÆÛ´Â ÇöÀç ÃâÇϵǰí ÀÖ´Â ¿¬±¸°³¹ß¿ëÀÇ °¡°ÝÀÌ 10¾ï~12¾ï¿£ÀÌ´Ù.

ÀÌó·³ IDEAL ±â¼úÀ» Ã¤ÅÃÇÏ¸é ³·Àº ºñ¿ëÀ¸·Î ³ôÀº Çػ󵵸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖÀ¸³ª, 󸮰úÁ¤ÀÌ ·¹Æ¼Å¬À» ±³È¯ÇØ µÎ ¹ø ±¸¿ö¾ß ÇÏ´Â µî, ´Ù¼Ò º¹ÀâÇϱ⠶§¹®¿¡ 󸮴ɷÂÀº Å©°Ô ¶³¾îÁø´Ù.

KrF ½ºÅ×ÆÛÀÇ Ã³¸®´É·ÂÀº 200mm ¿þÀÌÆÛ ±âÁØÀ¸·Î ½Ã°£´ç 90~1¹éÀåÀ̳ª ¿©±â¿¡ IDEALÀ» ´Ü¼øÈ÷ µµÀÔÇÒ °æ¿ì 20~30Àå ¼öÁØ¿¡ ±×Ä£´Ù.

ÀÌ ¶§¹®¿¡ »õ ±â¼úÀÇ ½ÃÀ强¿¡ Àǹ®À» Á¦±âÇÏ´Â ¸ñ¼Ò¸®µµ ³ª¿À°í ÀÖÀ¸³ª ij³íÃøÀº ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀÌ Áö³­ ¼ö³â°£ÀÇ ½ÃȲ¾ÇÈ­·Î ¼³ºñÅõÀÚ¸¦ ¾ïÁ¦ÇÏ°í ÀÖ´Ù´Â Á¡À» °¨¾È, IDEAL ¼ö¿ä´Â ´çºÐ°£ ²ÙÁØÈ÷ È®´ëµÉ °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù.