¢¸ Prev       Next ¢º  

NEWS 2000³â 8¿ù

ÄڴнýºÅÛ,
300§®¿ë CTC ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î °³¹ß, Ãâ½Ã

¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë Àåºñ ¹× Á¦¾î±â Àü¹®¾÷üÀÎ ÄڴнýºÅÛ(´ëÇ¥ Á¤±â·Î 300§® ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤¿ë CTC(Cluster Tool Controller) SW ¼Ö·ç¼ÇÀÎ ¡¸EasyCluster2.0¡¹À» ¼ø¼ö ±¹³»±â¼ú·Î °³¹ß, Ãâ½ÃÇÑ´Ù°í ÃÖ±Ù ¹àÇû´Ù.

CTC´Â È­ÇÐÁõÂø(CVD), ¹°¸®±â»óÁõÂø(PVD), ½Ä°¢ÀåÄ¡(¿¡Ã³) µî ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ¾Õ°øÁ¤Àåºñ¸¦ Ŭ·¯½ºÅÍ ÅøÀÇ ÇüÅ·ΠÁ¦ÀÛÇÒ ¶§ ÇʼöÀûÀÎ Çٽɱâ¼úÀÌ´Ù.
»ê¾÷ÀÚ¿øºÎÀÇ ¡¸½Ã½ºÅÛ IC 2010»ç¾÷¡¹ÀÇ ÀÏȯÀ¸·Î °³¹ßµÈ À̹ø ¼Ö·ç¼ÇÀº À©µµNT¸¦ ¿î¿ëü°è·Î Çϸ鼭 »ê¾÷¿ë PC¸¦ ±âº» Ç÷§ÆûÀ¸·Î »ç¿ëÇÏ°í ´ÙÀÌ·ºÆ® I/O¿Í ¡¸DeviceNet¡¹À» Áö¿øÇÑ´Ù.
¾Æ¿ï·¯ ÀÚü °³¹ßÇÑ GUI(Graphic User Interface)¿ë ±×·¡ÇÈ ¿£Áø°ú °øÁ¤ÀÚµ¿È­(FA: Fab Automation)¸¦ À§ÇÑ SECS/GEM Åë½Å±â´Éµµ ³»Àå, SW¿¡ ´ëÇÑ Ãß°¡ ¶óÀ̼±½º ºÎ´ãÀÌ ¾ø´Ù.
¡¸EasyCluster¡¹´Â ÇöÀç ±¹³» Àåºñ¾÷ü°¡ °³¹ßÇÑ 300§®°øÁ¤¿ë ¾Ö½Ì °øÁ¤ÀåÄ¡¿¡ žÀçµÅ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¾÷ü¿¡¼­ Æò°¡¸¦ ÁøÇàÁßÀÌ´Ù.
Á¤±â·Î »çÀåÀº ¡º±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Á¦Á¶¾÷üµéÀÌ ¿Ü±¹¾÷ü¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏÁö ¾Ê°íµµ °æÀï·Â ÀÖ´Â Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï À̹ø SW¸¦ ´Ù¾çÇÑ ÇüÅ·ΠÁ¦°øÇÏ°í Á¤±âÀûÀÎ ±³À°ÇÁ·Î±×·¥µµ °èȹÇÏ°í ÀÖ´Ù¡»¸ç ¡ºÀåºñ¾÷ü°¡ ¿øÇÒ °æ¿ì ÅÏÅ°¹æ½ÄÀÇ °³¹ß¿ë¿ªµµ Á¦°øÇÏ°Ú´Ù¡»°í ¸»Çß´Ù.

                            Top ¡ã     


    ÀüÀÚÅë½Å±â¼úÁ¤º¸     ÀÚ·á½Åû    Technical Info    ±â»çÁ¦º¸    Àü¹®±â¼úÀÚ·á    È¸¿øµî·Ï(¹«·á)