NEWS 1999년 9월

도시바,
세계최초 대형 저온 다결정 실리콘 TFT LCD 양산

최초로 대형 저온 다결정 실리콘 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 양산 공장이 가동을 시작했다. 일본 도시바가 최근 「저온 폴리실리콘 대형 LCD 양산동(NCR동)」을 준공, 공장의 전모와 앞으로의 투자계획을 발표한 것이다.

도시바는 1기라인과 2기라인을 차례로 구축하기로 하고 우선 1기라인 중 50%를 가동, 월 1만장 규모의 생산에 들어갔다.

지난해 「사활을 건 대형 투자」라며 업계의 시선을 모은 대형 저온 다결정 실리콘 TFT LCD 전용 양산라인의 1기가 본격적으로 가동된 것이다.

도시바는 이번 대형 저온 다결정 실리콘 TFT LCD의 본격 양산을 통해 가격경쟁력이 높은 한국 및 대만의 TFT LCD업체와의 차별화를 꾀한다는 방침이다.

기존의 아모퍼스 실리콘 TFT LCD 생산라인을 활용하는 것이 아니라 처음부터 저온 다결정 실리콘 TFT LCD를 양산하기 위해 건설한 공장으로는 소니와 도요타자동직기제작소의 합작회사인 ST LCD가 도시바와 비슷한 시기에 투자해 지난 4월부터 가동하기 시작한 공장이 있다. 그러나 ST LCD가 생산하는 제품은 중소형 제품이라는 점에서 도시바와 다르다.

도시바는 이번에 준공한 NCR동에 1기라인과 2기라인을 구축할 계획이다. 공장 건물에 약 30억엔, 1기라인을 구축하는데 270억엔이 소요됐다.

이번에 가동한 것은 1기라인의 절반 정도로 지금까지 약 300억엔이 투자됐다. 현재 월생산능력은 400×500㎜ 크기 유리기판 1만장 정도.

또 최근에는 추가분의 제조장비가 공장에 들어오기 시작해 올 가을 무렵까지 1기라인을 풀 가동할 수 있게 돼 생산능력도 월 2만장 규모로 늘어날 전망이다.

더욱이 NCR동에 대한 총투자액은 500억엔이어서 가동시기와 유리기판 크기가 미정인 2기라인의 투자액은 200억엔에 이를 것으로 보인다.

3층 건물인 NCR동의 규모는 90×106×22.8m, 총면적은 2만8761㎡이다. 이 공장동에서 TFT어레이 공정과 LCD 셀공정을 담당하게 된다. 이중 3층에서 TFT어레이 공정을 맡는다.

도시바의 다른 LCD공장이나 반도체 공장과 마찬가지로 3층은 천장에 매달려 있는 구조를 채택, 기둥을 생산라인 내에 설치하지 않아도 되게 해 각 층을 효율적으로 사용할 수 있게 한 것이 특징이다.

제조장비는 지난 6월 시점에서 박막 형성을 위한 화학적 기상성장법(CVD)장비와 스퍼터장비가 각각 3대, 에칭장비 6대가 도입됐다. 특히 제조장비의 20%는 자체 생산해 중요한 공정기술이 제조장비 업체를 통해 외부로 새 나가는 것을 방지했다.

이 NCR동에 구축하는 2기라인에 대한 구체적인 방안은 아직 결정된 바 없다. 생산하는 LCD의 크기나 유리기판의 크기 등도 시장 환경을 지켜보면서 결정한다는 계획이다. 다만 투자시기는 가능한한 금년 중에 시작할 것으로 알려졌다.
                                         　
도시바는 이같은 양산체제를 배경으로 향후 LCD사업을 주도해 나갈 것으로 예상하고 있는 저온 다결정 실리콘 TFT LCD의 비율을 오는 2001년에는 50% 수준으로 끌어올릴 계획이다. 올해 자사의 전체 LCD 생산량 중 37%에 이를 것으로 예상되는 저온 다결정 실리콘 TFT LCD의 비율을 2001년에는 48%까지 확대할 방침이다.

이를 실현하기 위해 도시바는 130dpi의 해상도를 기준으로 해서 아모퍼스 실리콘 TFT LCD와 저온 다결정 실리콘 TFT LCD의 구분을 지을 계획이다.

도시바는 가격경쟁이 심한 범용 노트북PC용 LCD의 비율을 줄여 LCD사업에서 이익을 창출해 낼 수 있는 구조를 만들어 나간다는 전략이다. 이를 위해 아모퍼스 실리콘 TFT LCD가 사용되고 있는 기기 중 고급기종에 저온 다결정 실리콘 TFT LCD의 탑재율을 높여 나갈 방침이다. 이를테면 고체촬상소자(CCD) 카메라를 탑재한 박형 노트북PC나 휴대정보단말기(PDA), 휴대형 DVD플레이어
등이다. 그 다음 단계로 도시바는 아모퍼스 실리콘 TFT LCD가 적용되지 않은 휴대폰이나 앞으로 등장할 것으로 예상되는 휴대형 TV전화 등 최첨단 기기에 탑재해 나갈 계획이다.

총투자규모가 500억엔에 달하는 대형 저온 다결정 실리콘 TFT LCD 양산 공장의 가동과 함께 차세대 TFT LCD 시장을 선점하기 위한 도시바의 첫 단추가 채워진 셈이다.